激光烧蚀材料热效应研究进展

摘要：

针对激光烧蚀靶材产生的热效应进行综述,分别阐述了对于半导体材料、 金属材料和复合材料,激光烧蚀靶材产生热效应的研究进展.最后,指出激光烧蚀材料热效应的研究所面临的问题,以及今后的研究方向.

关键词：激光、烧蚀理论、温度场、材料

资助基金：天津市高等学校科技发展基金计划项目资助. 项目20130402

在线出版日期：2018-10-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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