通过静态干涉图测量量块参数

摘要：

为了得到白光干涉颜色与样品厚度等物理量的对应关系,必须先研究给定光程差条件下干涉色的标准计算机表示方法,以便在以后的应用中用计算机采集和分析处理实际的干涉色.本文以国际发光照明委员会所规定的CIE 1931 XYZ色彩空间为基础,利用发光物体辐射的相对光谱功率分布,通过计算机对标准照明体干涉场分布进行了模拟,并将该方法推广到对真实干涉波面的仿真上.该方法可以在已知光谱功率分布的情况下,很方便的得到干涉场的干涉色分布,从而为解决玻璃应力测量、 薄膜厚度测量等问题提供了基础.

关键词：量块、莫尔条纹、移相干涉术

在线出版日期：2018-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：292,284