基于动态干涉仪的位相光栅衍射效率研究

摘要：

为了解决普通二维光栅分光在动态干涉仪中所需衍射级次能量不足的问题,使用标量衍射和傅里叶分析法对矩形正交位相光栅和棋盘位相光栅的衍射效率进行对比研究.仿真分析了两种位相光栅的衍射效率与刻蚀深度的关系,仿真结果表明,棋盘位相光栅的(0,0)级受到抑制,所需的(±1,±1)级衍射光总的衍射效率超过65％,为正交位相光栅的4倍.对比了正交位相光栅和棋盘位相光栅在动态干涉仪上的应用效果,实验结果表明棋盘位相光栅得出干涉图对比度明显优于正交位相光栅.在动态干涉仪上,棋盘位相光栅比正交位相光栅具有更高的光能量利用率.

关键词：光学干涉测量、动态干涉仪、位相光栅、衍射效率

在线出版日期：2018-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：227-230