四波横向剪切干涉法测光学系统透射波前

摘要：

为测试光学系统的出射波前,采用一种基于梯度恢复算法的四波横向剪切干涉术.从四波剪切干涉仪中得到四波横向剪切干涉图,通过对干涉图的傅里叶变换得到x、y方向的剪切波面,进而得到x、y方向的梯度数据,运用梯度恢复算法得到波面.本文通过仿真和实验来验证这种方法,仿真结果的PV=0.0045λ,RMS=0.0008λ,实验结果的PV=0.737λ,RMS=0.130λ.说明了该方法可以有效的检测光学系统的透射波前.

关键词：波前检测、干涉测量、四波剪切

在线出版日期：2018-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

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