多孔阳极氧化钛反射光学性质的研究

摘要：

利用直流磁控溅射沉积钛膜,以硫酸为电解液进行不同时间的阳极氧化,获得多孔阳极氧化钛(PATO)薄膜.用X射线衍射仪、扫描子显微镜、原子力显微镜分别表征PATO薄膜的结构和形貌特征,用分光光度计测量样品的反射光谱.结果表明,制得的氧化钛薄膜是多晶的Ti_(10)O_(18);样品的表面有明显的孔洞结构,且粗糙度随着氧化时间的增加而增大.随着氧化时间从10 min增加到40,60,90 ,120 min,样品的颜色相应地由蓝色逐渐过渡到黄色、橙色、紫红色和淡紫色.氧化时间为120 min的PATO薄膜的在可见光区的折射率低于2.0,孔隙率约为0.32;粗糙的表面及薄膜内部的孔洞增强了光的散射,导致其消光系数大于0.1.

关键词：多孔氧化钛、阳极氧化、反射率、光学常数

所属期刊栏目：26

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：福建省自然科学基金资助项目2007J0317;福建省科技厅重点项目2007H0019;福建省教育厅资助项目JB08065

在线出版日期：2010-04-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：64-68