基体温度对诱增透滤光片特性的影响

摘要：

考察了λ=(620±10)nm栅滤光片的制备过程,分析了工艺参数对滤光片性能的影响.结果表明,除了蒸发速率、银层厚度、监控波长等工艺措施外,合适的基体温度是获得优良性能诱增透滤光片的重要因素.

关键词：基体温度、诱增透滤光片、特性

所属期刊栏目：22

分类号：TN304;TP212(半导体技术)

在线出版日期：2006-03-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：49-52