MEMS技术发展及应用优势

摘要：

叙述了在微工程研究领域有代表性的微机电系统(micro electro mechanical system,MEMS)技术特点,介绍了MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等典型的MEMS产品,阐述了MEMS基础理论研究进展以及国外对MEMS陀螺仪、MEMS加速度计的研究和发展现状,分析了MEMS技术在飞航导弹等飞行器上应用优势.

关键词：微机电系统、MEMS陀螺仪、MEMS加速度计、飞行器设计

分类号：R98;Q78

在线出版日期：2011-09-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：85-89