惯导加速度计技术综述

摘要：

叙述了当前惯导领域应用最广的力平衡式加速度计、石英振梁加速度计和单晶硅微加工加速度计发展概况,分析了它们的工作原理和结构特点.提出了在力平衡式加速度计发展较为成熟的基础上,在中高精度领域应优先开发石英振梁加速度计技术,在中低精度领域应大力发展单晶硅微加工加速度计技术.

关键词：加速度计、力平衡、石英振梁、硅微加工

分类号：TJ7;TP2

在线出版日期：2005-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：78-85