表面化学处理和退火对p-GaN/ZnO:Ga接触特性的影响

摘要：

ZnO:Ca(GZO)透明电极沉积在p-CaN表面,用作透明电流扩展层.直接沉积在p-CaN上的p-GaN/GZO存在较大的势垒,容易形成肖特基接触,而良好的欧姆接触对功率LED器件至关重要.为了降低接触势垒,采用盐酸和氢氧化钠溶液对CaN表面进行去氧化层处理,并对p-GaN/GZO进行退火处理,研究表面处理和退火对p-GaN/GZO接触特性的影响.研究表明:碱性溶液处理有利于降低接触势垒;退火处理后,接触势垒略有增加.

关键词：p-GaN、ZnO:Ga透明电极、表面化学处理、接触特性

所属期刊栏目：31

分类号：O484;TN301(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金51072111;上海市科委发展基金08DZ1140603,08QH14007;教育部新世纪优秀人才支持计划NCET-07-0535

在线出版日期：2011-03-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：848-853