类球状微米金刚石聚晶的场发射

摘要：

在覆盖金属钛层的陶瓷上,采用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱,X射线衍射,分析了薄膜的结构和表面形貌.测试了类球状微米金刚石聚晶膜的场致电子发射特性.开启电场仅为0.55 V/μm, 在2.18 V/μm的电场下,其场发射电流密度高达11 mA/cm2.仔细分析了膜的发射过程,发现类球状微米金刚石聚晶的结构对发射有很大影响,并对其发射机理进行了研究.

关键词：微波等离子体化学气相沉积、场致电子发射、类球状微米金刚石聚晶

所属期刊栏目：29

分类号：TB383;O484(工程材料学)

资助基金：国家教育重点项目205091

在线出版日期：2008-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：393-397