期刊专题

10.3321/j.issn:1000-7032.2002.04.016

ZnO薄膜的制备和发光特性的研究

引用
用射频磁控溅射的方法在石英衬底上沉积了氧化锌薄膜.在室温下测量了样品的XRD曲线、吸收光谱以及光致发光光谱,探讨了气氛中氧气与氩气比对制备薄膜的影响.从XRD谱中可以看出,样品具有较好的结晶状态.另外,样品在紫外有较强的吸收,而其光致发光也是较强的紫外发射,这表明带间跃迁占了主导地位.以上结果说明:用溅射方法制备的ZnO薄膜结晶质量较好,富锌状态有所改善.

ZnO薄膜、光致发光、溅射

23

O482.31(固体物理学)

高等院校骨干教师基金2000668

2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

389-392

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发光学报

1000-7032

22-1116/O4

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2002,23(4)

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