硅MSM光电探测器的研制

摘要：

本文报导了用于短波长光纤通讯硅MSM-PD的原理、版图设计和工艺流程,着重探讨了2微米栅状电极的光刻剥离工艺,并对该器件基本的光电性质进行了测试.

关键词：硅、MSM-PD、版图设计、剥离工艺

所属期刊栏目：23

分类号：TL81(粒子探测技术、辐射探测技术与核仪器仪表)

资助基金：国家自然科学基金;教育部科学技术研究项目

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：19-22