采用光象散法测控微位置度的实验研究

摘要：

本文介绍一种利用光象散法测量微小位移的新型技术,由该技术可构成象散型光电微位置度传感器,能实现对微位移和位置度的自动测量与控制.并给出了其测量原理、系统构成与可行性实验的初步结果.从理论分析与初步实验结果表明,该技术有较高的分辩率、结构简单和小型化,具有实用价值.

关键词：象散法、位置度、测量、光电传感器

所属期刊栏目：23

分类号：O4(物理学)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：64-67