光刻技术:新的应用浪潮

摘要：

@@ 将近半个世纪以来,一些世界上最优秀的科学家和工程师开拓着构造硅片微观电子电路的技巧,提供获取非凡计算能力的广泛途径.与构造微观结构相同的能力现在被用来制造机械和光学设备,有希望给巨大应用领域带来同样革命性的性能提升.通用的范例包括,给予iPhone感知所持位置功能的硅回转仪,新车上的轮胎气压传感器,用于消化系统实时诊断的包含摄像头的可吸收药片,能够数出红细胞数量的芯片尺寸实验室.

机标关键词：光刻技术

分类号：TN305.7;TN405.7;TB383

在线出版日期：2010-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：48-49