应用纳米结构模板的单晶半导体材料制作工艺

摘要：

制作单晶半导体材料的方法由以下部分组成:提供模板材料;在模板材料上覆盖掩膜;用掩膜在模板材料内形成纳米结构的多元化;向纳米结构生长单晶半导体材料

关键词：GaN、侧向外延生长、HVPE技术

分类号：TU755.2;TB383;TQ031.2

在线出版日期：2010-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：36-37