半导体C-V测量基础

摘要：

@@ 通用测试
电容-电压(C-V)测试广泛用于测量半导体参数,尤其是MOSCAP和MOSFET结构.此外,利用C-V测量还可以对其他类型的半导体器件和工艺进行特征分析,包括双极结型晶体管(BJT)、JFET、Ⅲ-Ⅴ族化合物器件、光伏电池、MEMS器件、有机TFT显示器、光电二极管、碳纳米管(CNT)和多种其他半导体器件.

机标关键词：半导体、测量基

分类号：O413.1;TP309;TN304

在线出版日期：2010-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：53-55