模拟电路的设计特征之统计方法
@@ 引言
半导体器件及电路的性能会因为工艺本身固有的基本统计性变异(statistical variation)而发生波动.如图1所示,所有的变异形式可划分为好几大类,相应反映出工艺加工期间材料的物理分离.批次变异是最常见的变异,因为它反映出了其它成因里所没有的重要变异源,包括某个工艺步骤中因采用不同工具而可能带来的差异;原始材料在批次之间的差异,以及与工具老化、定期维修、升级和调试有关的基于时间的趋势及周期性差异.
模拟电路、设计特征、统计方法
TN710;R821.31;TP391
2010-03-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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