晶圆背面覆膜的丝网和钢网印刷工艺

摘要：

采用丝网和钢网印刷工艺可以在晶圆背面大区域内进行快速而均匀的覆膜.丝网印刷工艺有较好的工艺能力,钢网印刷覆膜厚度均匀性受制于机器的平面度.

关键词：丝网印刷、钢网印刷、覆膜

分类号：O484.5;TS871.1;TH16

在线出版日期：2010-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：54-60