非晶硅电池生产线关键设备——PECVD技术

摘要：

@@ 1综述
太阳能是各种可再生能源中最重要的基本能源,生物质能、风能、海洋能、水能等都来自太阳能,广义地说,太阳能包含以上各种可再生能源.太阳能作为可再生能源的一种,则是指太阳能的直接转化和利用.

机标关键词：pecvd技术、关键设备、非晶硅电池、生产线

分类号：TM910.5;TB383;O484

在线出版日期：2010-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：49-50