TDL-GX31C型硅芯炉

摘要：

@@ 1设备的结构组成和工作原理、性能指标与技术参数及用途
TDL-GX31C型硅芯炉是改良西门子法-氢气还原三氯氢硅气相沉积法生产多晶硅的辅助生产设备.是改良西门子法还原炉发热载体-硅芯的控制设备.

在线出版日期：2010-03-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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