欧胜CMOS-MEMS工艺加速硅麦克风升级

摘要：

@@ 目前,麦克风在消费领域被广泛采用,如移动手机、便携式媒体播放器(PMP)、便携式导航设备(PND)、数码相机(DSC)、笔记本电脑、头戴式耳机等.在过去的3,4年中,硅麦克风解决方案的出现,已经渗透到当前驻极体电容麦克风(ECM)的市场群体.硅麦克风所具有的尺寸小巧、增强稳定性以及可回流焊接的能力,尤其是在移动手机和笔记本电脑市场取得了巨大成就.

机标关键词：cmos-mems、mems工艺、硅麦克风

分类号：TN433;TP212;TN215

在线出版日期：2009-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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