应力类型与方向和沟道晶向对载流子迁移率的影响

摘要：

利 Synopsys公司的Sentaurus TCAD软件,针对Si(100)面的<100>和<110>沟道,系统研究了张/压应力施加在MOSS器件不同方向上对裁流子迁移率的影响,同时给出了收益表格以供参考.

关键词：深亚微米、张应力、压应力、沟道晶向、压阻模型、Sentaurus

所属期刊栏目：12

分类号：TN3;TG1

在线出版日期：2011-01-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：89-91