数字伺服聚焦式位移传感器及其测量电路

摘要：

介绍一种基于聚焦探测法的数字伺服聚焦式位移传感器及其测量电路,该传感器可实现表面形貌的快速非接触测量,其测量范围为±1mm,分辨率可达30nm.

关键词：表面形貌、数字伺服控制、位移传感器、激光、弹头痕迹

所属期刊栏目：5

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：24-27