6σ技术在功率半导体器件生产中的应用

摘要：

通过6σ质量管理技术的应用,及时诊断半导体器件生产过程中出现的过程不稳定趋势,探索用回归方程表达各个变量相关关系的方法.

关键词：质量管理、过程控制、回归方程

所属期刊栏目：5

分类号：TN30(半导体技术)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：50-53