微机械传感器的现状与发展

摘要：

概述国内外目前已实现的微机械传感器,特别是微机械谐振式传感器的类型、工作原理、性能和发展方向.

关键词：微传感器、微机电系统、微谐振式传感器

所属期刊栏目：5

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金资助项目60036016,50077016;教育部博士点基金资助项目98069828

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：8-11