超微电动机的应用前景及其关键技术

摘要：

概述静电型、电磁型、压电型超微电动机的国内外研究现状及其技术性能,简要介绍三种关键制造技术,指出由超微电动机构成的微电子机械系统(MEMS)的广阔应用前景.

关键词：超微电动机、微电子机械系统、微细加工技术、LIGA技术

所属期刊栏目：4

分类号：TP211+.4(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：4-6