VLSI与超纯硅材料

摘要：

通过VLSI与超纯硅材料关系的论述,阐明了我国VLSI的发展急需解决高质量的超纯硅材料.提高大直径硅片的平整度;氧、碳含量稳定、均匀、可控;提高微区电阻率的均匀性;硅表面洁净、具有密封、屏蔽的防静电包装技术是当今硅材料发展的主攻课题.超纯硅材料的完美结晶特性和超精度加工技术水平取决于基础材料(化学试剂、高纯气体、)的高纯度、小颗粒和低杂质含量的控制.

关键词：超纯硅、超大规模集成电路、材料

所属期刊栏目：4

分类号：TN304.1+2(半导体技术)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：47-50