厚膜混合集成电路的制造技术与应用

摘要：

本文简要介绍厚膜混合集成电路的制造过程,由于它的制造特点使其性能稳定可靠,应用领域广泛.其制造工艺适于大批量自动化生产,具有工艺简单、投资省、见效快等优点.

关键词：厚膜混合集成电路、基片、工艺、制造

所属期刊栏目：3

分类号：TN452(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：47-48