基于厚膜技术的电容式集成压力传感器的感压元件研究

摘要：

采用厚膜技术研制新型电容式集成压力传感器用感压元件,具有抗干扰能力强,灵敏度高,受分布电容、寄生电容影响小,耐腐蚀,耐高温的特点.本文主要介绍其原理、感压元件设计,并对非线性等相关技术及工艺问题进行了探讨.

关键词：厚膜、电容式、集成、压力、传感器

所属期刊栏目：3

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-18