电子元器件中的薄膜新技术

摘要：

本文介绍了用于电子元器件镀膜的两种新的镀膜技术:离子束辅助蒸发镀膜及非平衡磁控溅射镀膜.

关键词：离子束辅助蒸发、非平衡磁控溅射

所属期刊栏目：3

分类号：TN451(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：13-14