SOI-21世纪的硅集成电路技术

摘要：

本文扼要介绍SOI材料的制备技术、SOI的优越性以及SOI的应用.

关键词：绝缘衬底上的硅

所属期刊栏目：3

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：5-8,30