LED用蓝宝石平片湿法清洗研究

摘要：

目前的工业化生产中主要通过化学机械抛光来清洗平片,经过抛光后的平片表面布满悬挂键,表面活性高,极易吸引污染物.本文对LED用蓝宝石平片湿法清洗工艺展开研究,通过正交试验,研究清洗参数对蓝宝石平片良率、明缺和暗缺的影响.实验结果表明:当去离子水/双氧水/硫酸配比1∶1∶3.5、时间10min、温度110℃时,有着最好的清洗效果.使用优化后的清洗工艺参数,进行千片级的清洗验证,良率达到93％,表面残留颗粒降至5颗以内.本研究揭露了蓝宝石平片的相关清洗方法与参数,并进行了批量清洗验证,对后续工业化清洗提供了参考.

关键词：图形化蓝宝石衬底(PSS)、SPM、湿法清洗、正交试验

所属期刊栏目：6

分类号：TG175(金属学与热处理)

在线出版日期：2022-10-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：22-24,28