关于TFT-LCD技术显影工艺的探究

摘要：

随着显示技术的不断发展,TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display,薄膜晶体管液晶显示器)液晶显示技术取得了重大关键技术的突破,已进入快速成长时期.本文通过对显影工艺设备的机理分析,以及显影条件的关键参数剖析,得出显影条件与产品结构的对应关系,通过本次探究,对TFT-LCD显影工艺有了更加深入的了解,对生产制造提供了有力帮助.

关键词：TFT-LCD;显影工艺;生产制造

所属期刊栏目：5

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2022-01-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：86-87