MEMS传感器技术发展及应用分析

摘要：

MEMS传感器作为MEMS器件的核心部件,能够充分发挥微机械加工等技术手段来排除外界的负面干扰,从而体现出传感器的智能化和多功能化等应用优势.MEMS传感器在体积、功能和灵敏性等方面均表现出了明显的优势.自上世纪发展至今,已经取代了传统传感器的地位,成为市场上主要的应用设备类型.

关键词：MEMS传感器;技术;应用

所属期刊栏目：5

分类号：TP212.9(自动化技术及设备)

资助基金：本文系广东电网有限责任公司科技项目《10kV电缆接头绝缘状态及运行环境芯片化监测技术研究与应用》资助,项目编号:032000KK52190148GDKJXM20199173

在线出版日期：2021-11-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：11-12