IGBT结构及发展趋势

摘要：

绝缘栅双极晶体管IGBT作为新型电力电子器件技术里最先进的产品之一,被称为电力电子行业内的"CPU".本文阐述了IGBT器件结构的发展变化,包括IGBT结构上的发展历史及其产品特点,系统概述了基于目前常规的IGBT进行工艺改进产生新的器件结构,重点介绍并讨论了制备这些新器件所采用的技术措施以及这些新结构的优缺点,最后介绍了IGBT未来发展的趋势及给国产装备带来的机会与挑战.

关键词：IGBT、电力电子器件、减薄片、碳化硅、集成技术

所属期刊栏目：5

分类号：TN403(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2021-07-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：76-78