基于缺陷检测的多芯片塑封光耦器件开封方法

摘要：

塑封光耦器件主要用于电源隔离、信号转换、脉冲放大等领域.基于缺陷检测的需求,保持芯片、键合丝、基板等部位的原始状态是开封技术的重要指标.针对多芯片塑封光耦器件缺陷检测难的问题,为了避免开封对关键缺陷点的损伤,提出了一种多芯片塑封光耦器件的开封方法.利用X射线对器件进行内部结构分析和缺陷定位,通过机械预处理、激光烧蚀、激光微切割及化学腐蚀结合的多元开封技术对器件进行开封,开封后完整保留了器件内部各关键部位的原始状态.利用显微镜对缺陷进行检测,结果表明:发光二极管的键合丝因受到塑封料与导光胶剪切力产生形变缺陷,验证了该开封方法的有效性和可行性,该方法可提高塑封光耦器件缺陷检测的效率和准确性.

关键词：多芯片、塑封、光耦、缺陷检测、开封方法

所属期刊栏目：5

分类号：TN366(半导体技术)

在线出版日期：2021-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：3-5