关于指叉式微型硅加速度传感器的综述

摘要：

本文对基于微机电系统(MEMS)的指叉式微机械硅加速度计(FMSA)进行了综述.本文展示了电容式加速度计的原理,提出了科学问题并尝试给出不同的解决方案,并介绍了在技术产品领域广泛使用的特定应用程序.

关键词：指型、硅加速度计MEMS、汽车安全气囊、AirpodsMEMS麦克风

所属期刊栏目：4

分类号：V241.5(航空仪表、航空设备、飞行控制与导航)

在线出版日期：2021-04-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共2页

页码：5-6