投影曝光技术在柔性折叠屏触控电路制作中的应用与发展

摘要：

有源有机发光显示(AMOLED)触控技术,从盒上(On-Cell)制作触控电路到外挂触控膜(Touch Film),再发展到新型的AMOLED上直接整合制作触控电路(TPOT:Touch Panel on Thin-Film-Encapsulation).新兴柔性折叠屏技术飞速发展,TPOT触控技术由于具有显著的技术优势,逐渐成为柔性折叠屏(Foldable AMOLED Display)的主要技术之一.其电路制作工艺中接近式曝光技术的分辨率和套刻精度局限性不能满足其制作需求,而高分辨率与高套刻精度的投影曝光技术必将在TPOT触控制作中具有广阔的前景.

关键词：触控电路、柔性折叠、投影式曝光分辨率和套刻精度

所属期刊栏目：4

分类号：TN405(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2020-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：158-160