14nm工艺光刻对准之异常问题与对策探讨

摘要：

一般情况下,光刻属于微纳米器件制备器件过程中十分关键的部分,无论是半导体、光电器件,还是微米纳米的机电系统,在制备工作中均需要光刻工艺的支持.然而,目前在14nm工艺光刻对准的过程中,由于会受到各种因素的影响,经常会出现一些异常的问题,所以不能确保各方面的工作效果,这也对其长远发展造成不利的影响.因此,在实际工作中应该结合14nm工艺光刻对准的异常问题发生规律与特点,采用科学合理的方式解决问题,以此提升14nm工艺光刻对准的工作效果,为其后续的使用夯实基础.

关键词：14nm工艺光刻对准、异常问题、对策探讨

所属期刊栏目：4

分类号：TN305.7(半导体技术)

在线出版日期：2020-05-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：11-12,17