谈微电子机械系统器件的测试

摘要：

@@ 在早期开发电子机械系统器件时,重点是放在器件设计上;而如今,它正在以不断增长的速率实现商品化,重点已经转移到提供耐用而价格低廉的产品上,而且,封装和测试已经成为区分不同产品的主要手段,实施这些手段的费用正在受到制造厂家的极大关注.从基本材料的性质一直到器件的最终验收,测试问题始终是器件和封装设计的基本要素.

机标关键词：微电子机械系统器件、制造厂家、早期开发、器件设计、基本材料、封装设计、产品、测试问题、商品化、转移、增长、要素、验收、速率、价格、费用

分类号：TN10(真空电子技术)

在线出版日期：2007-07-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：55-57