未来……

摘要：

@@ 广义上的MEMS技术已经跨越了两个世纪,从最早的照相制版应用到现在的各种加速度传感器应用,在它的发展过程中不断吸收了各种优秀的技术.

机标关键词：传感器应用、照相制版、MEMS技术、发展过程、加速度、吸收、世纪、跨越、广义

分类号：TS8;TP3

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：8