MEMS微机电感测技术擅场时代

摘要：

@@ 从Wii掀起MEMS风潮自从20年前由ADI(亚德诺半导体)做成业界第一颗MEMS(微机电系统)XL传感器单芯片起,有近十年的时间MEMS传感器几乎都是以汽车的安全气囊应用为主力,以及航天飞行应用上.

机标关键词：MEMS传感器、微机电系统、电感、测技术、航天飞行、安全气囊、单芯片、半导体、时间、汽车、风潮、ADI

分类号：R37;TP3

在线出版日期：2010-01-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：32-36