应用材料公司推出新Carina系统克服高K介电常数/金属栅极刻蚀难题/量研科技推出带有精密开关管理功能的微型低成本电容式触摸芯片

机标关键词：应用材料、系统、介电常数、金属、栅极、刻蚀、科技、精密、开关、管理功能、微型、成本、电容式、触摸

分类号：TN3

在线出版日期：2007-11-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

页码：57