SEMICON Taiwan 2005特别报导(二)晶圆与光罩检测中外厂商争雄

摘要：

@@ 在晶圆与光罩检测领域,如同其它半导体设备领域,传统上都是外商天下.但随着两岸半导体业的聚落形成,本地的设备供货商在政策保护与地利之便的优势之下,也渐渐形成一股新势力.而在晶圆与光罩检测领域,同时具备光学检测与电子束检测技术的外商如KLA Tencor与专精于电子束检测技术,从设备代理业跨足研发制造的台湾汉民科技,正是这个趋势的缩影.

机标关键词：semicon、taiwan

在线出版日期：2005-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

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