KLA-Tencor推出最新的叠对计量解决方案Archer AIM+系统

摘要：

@@ KLA-Tencor正式推出了业界最新的叠对计量解决方案,ArcherAIM+系统,该系统专门用于满足芯片制造商对65纳米节点以下的光刻叠对控制要求.

机标关键词：计量、解决方案、系统、控制要求、制造商、芯片、纳米、节点、光刻

分类号：TP3(计算技术、计算机技术)

在线出版日期：2005-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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