半导体工艺流程和器件的辅助设计与仿真软件

摘要：

@@ TCAD简介TCAD(Technology CAD)是一种半导体工艺流程和器件方面的计算机辅助设计与仿真软件,它与我们所熟知的电子设计工具EDA(Electronic DesignAutomation)一样,是现代集成电路设计和制备不可缺少的重要工具.但是,在功能范围上,EDA主要包括电路和逻辑功能模拟及线路布局,而TCAD的应用领域则包括半导体工艺流程、器件物理、电学行为和电路缺陷等.

机标关键词：半导体、工艺流程、器件物理、算机辅助、设计与仿真软件、集成电路设计、线路布局、设计工具、功能模拟、功能范围、电学行为、电路缺陷、应用、逻辑、电子

分类号：TN3;O47

在线出版日期：2005-01-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：173-176