针尖-样品距离对扫描微波显微成像的影响分析

摘要：

随着芯片制备工艺的不断完善,半导体集成电路朝着小型化、集成化的方向不断发展,给近场微波成像技术带来了新的挑战.本文建立了探针-样品三维电磁耦合模型,并利用有限元数值分析法研究了探针针尖与样品之间的电磁相互作用.在不同探针-样品间距下,对硅基芯片表面结构进行扫描微波成像.成像结果与仿真结果相一致,随着针尖-样品间距的增加,扫描微波测试系统的灵敏度和分辨率降低.对于由原子力显微术结合微波测量技术发展而来的扫描微波显微镜的改进与产业化具有重大意义.

关键词：扫描微波显微镜、有限元法、电磁建模、针尖-样品间距

所属期刊栏目：43

分类号：TH742(仪器、仪表)

资助基金：国家重点研发计划;山西省回国留学人员科研资助项目

在线出版日期：2024-08-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：303-308