两种衬底上Cr2O3薄膜的制备与显微结构表征

摘要：

本文利用脉冲激光沉积(PLD)技术分别在MgO(100)和Al2O3(0001)两种衬底上制备了Cr2O3薄膜,并借助X射线衍射仪和透射电子显微镜对两种薄膜的显微结构进行了表征.研究结果表明:由于MgO与Cr2 O3的晶体结构不同,界面存在较大的晶格失配,MgO(100)衬底上制备的薄膜为低质量的Cr2O3多晶薄膜.薄膜致密度低,孔隙多,晶粒排列呈现纵横交织(90°取向差)的特征.由于Al2O3与Cr2O3具有相同的晶体结构,界面失配小,Al2O3(0001)衬底上的薄膜为高质量的Cr2O3单晶外延薄膜.薄膜均匀致密,外延性好,界面平整明锐,薄膜中形成了大量的贯穿位错线.

关键词：Cr2O3、脉冲激光沉积、单晶薄膜、位错、显微结构

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分类号：O484.1;O731;O77;O711(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;中国科学院前沿科学重点研究计划项目;广东省基础与应用基础研究重大项目;季华实验室项目

在线出版日期：2022-11-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：393-398