原子层沉积Al2O3纳米管弯曲模量的原位研究

摘要：

本文使用原子层沉积技术以及模板法制备了厚度、成分和结构精确可控的氧化铝纳米管,结合SEM、TEM、SAED和XPS分析,可知所得为非晶态氧化铝纳米管状结构且薄膜致密无针孔,沉积速率为0.11 nm/cycle,实现了纳米管壁厚在纳米尺度精确可控制备.进一步使用自主设计的SEM/SPM(扫描电子显微镜/扫描探针显微镜)联合测试系统,对氧化铝纳米管进行了原位三点弯曲实验研究.结果表明外半径在50 nm左右的氧化铝纳米管的杨氏模量范围在400~600 GPa之间,且杨氏模量值随着纳米管壁厚的增大而递减.

关键词：氧化铝纳米管、原子层沉积、SEM/SPM联合测试系统、杨氏模量、三点弯曲

所属期刊栏目：37

分类号：TB383;TG115.21+5.3;TG115.5(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金资助项目11374027

在线出版日期：2018-05-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1-7