扫描电镜测量纳米尺度的影响因素

摘要：

本文从纳米尺度测量、长度标准器选择、扫描电镜参数选取入手,在不同的试验条件下,根据GB/T20307-2006对纳米级尺度进行测量,系统地研究了加速电压、束斑大小、工作距离以及象限位置对纳米级TiO2、ZnO、C纳米管测量结果的影响.通过分析讨论,提出了提高纳米尺度测量精度的最佳方案.

关键词：纳米尺度、扫描电镜、束斑、工作距离

所属期刊栏目：31

分类号：TN16;TG115.21+5.3(真空电子技术)

资助基金：天津检验检疫局自主基金项目TK003-2009

在线出版日期：2012-09-29（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：226-229